设备及服务

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光刻技术服务

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设备

我们的解决方案提高了光子器件的性能和效率

光学图案的研发和小批量生产

光学图案的工业生产型光刻系统

光学图案工业生产用步进重复光刻系统

我们提供的EUV透射衍射光栅制备在硅和氮化硅薄膜上

电子束曝光服务

EULITHA采用先进的电子束光刻系统制作纳米结构

标准纳米压印模板

用于制造纳米压印模板和其他研发项目的一维标准线结构和二维周期性纳米结构

光刻技术服务

我们的光刻服务以客户为中心，提供包括从掩膜版设计到最终在光刻胶上完成曝光的所有光刻步骤，提供满意的样品以验证您的应用

光学图案的研发和小批量生产

光学图案的工业生产型光刻系统

光学图案工业生产用步进重复光刻系统

我们提供的EUV透射衍射光栅制备在硅和氮化硅薄膜上

电子束曝光服务

EULITHA采用先进的电子束光刻系统制作纳米结构

标准纳米压印模板

用于制造纳米压印模板和其他研发项目的一维标准线结构和二维周期性纳米结构

光刻

申请验证（演示实验室）
定制纳米图案

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