DTL
位移Talbot光刻(DTL)是一种创新的多功能纳米加工技术,它利用Talbot效应产生周期性纳米结构。塔尔博特效应描述了自成像现象,其中周期性图案在距离原始目标特定距离处再现。在DTL中,相干光源照射包含所需图案的掩模版,从而在光敏材料上产生纳米结构的干涉图案。
DTL能够快速、大规模地制造复杂、高分辨率的纳米结构。这项技术在光子学、电子学和纳米医学等领域引起了极大的关注。其简单性、成本低和可扩展性使Eulitha的光刻解决方案成为旨在突破纳米技术界限的研究人员和制造商的一个有吸引力的选择。